纳米加工机的设计构造***

纳米加工机的设计构造***

120,000min-1高速主轴的搭载

沙迪克纳米加工机搭载了无发热、旋转精度高的空气静***气涡轮方式的主轴（120,000min-1）。

采用自动热装方式

沙迪克纳米加工机刀具通过直接热装的方式安装在主轴上。对于热装方式，（1）由于刀具轴部是被大面积夹持，主轴高速旋转时对刀具的夹持力不会下降（不会松弛）；（2）具有刀具交换精度高等优点。能够自动交换15把刀具。

工件及刀具的测定功能搭载

通过使用球状接触探针的接触感知法（电气的接触感知）测定工件位置，并利用雷射光测定刀具径和长度。与自动刀具交换装置的结合使用实现了高精度加工的自动运转。

无过悬的BOX构造

沙迪克纳米加工机为适应高速、高加速度的运转，采用了具备高刚性、低***、不会产生过悬的BOX构造。

***小控制单位3nm

搭载了***小分解能3nm的光栅尺和AC无芯直线电机，实现了高精度、高响应驱动。

能量抵消型双直线电机驱动方式的采用

在X、Y轴上搭载了反向轴。反向轴通过与X、Y驱动轴进行相反位相的驱动，***了高加速度驱动所产生的振动和***位置的变化，实现了高精度、***率加工。 

通过促使反向轴在与加工工作台相反的位相进行动作，降低了***位置的变 动以及高加速度驱动中发生的振动，***了加工精度和加工面精度低下的现象。